Sonoscan D9650™ C-SAM 超声波扫描显微镜，利用不同材料对超声波声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度不同，来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析。是理想的用于失效分析、工艺开发、材料特性和小批量生产的工具。